近日，經(jīng)上海市市場監(jiān)督管理局審批通過，同濟(jì)大學(xué)國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計量測試中心（上海）（籌）在集成電路標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)方面取得新突破，三項晶圓級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)獲得國家二級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書。

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是用來衡量檢測結(jié)果是否準(zhǔn)確的“尺子”

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是化學(xué)、生物等專業(yè)領(lǐng)域統(tǒng)一量值、開展量值傳遞溯源的主要載體，發(fā)揮著“測量砝碼”的重要作用，是國家重要戰(zhàn)略資源。通俗地講，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)就是用來衡量檢測結(jié)果是否準(zhǔn)確的“尺子”。比如食品檢測、醫(yī)院的化驗報告、環(huán)境監(jiān)測的數(shù)據(jù)，這些和我們生活息息相關(guān)的檢測結(jié)果，都是靠標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)來保證準(zhǔn)確。上海市市場監(jiān)督管理局自2023年率先在全國承接國家二級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)審批改革試點以來，通過創(chuàng)新開展涵蓋技術(shù)能力、原始數(shù)據(jù)、計量溯源性、生產(chǎn)流程合規(guī)性等全要素現(xiàn)場審評，積極發(fā)揮專家“技術(shù)管家”作用，推動和優(yōu)化“智能審批服務(wù)”“幫辦服務(wù)”“電子證書同步制發(fā)”“證書免費郵寄送達(dá)”等舉措，讓企業(yè)感受到上海速度和溫度。

要想造得出，必先測得出，要想造得精，必先測得準(zhǔn)

集成電路制造是將數(shù)以億計的微小元器件集成在芯片上的制造體系，它不僅是信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，也是高端裝備能力的重要支撐。我們?nèi)粘Ｊ褂玫氖謾C(jī)、電腦，到汽車、航天裝備等關(guān)鍵領(lǐng)域，都離不開它的賦能。隨著集成電路制造向先進(jìn)節(jié)點演進(jìn)，芯片上的結(jié)構(gòu)越來越小，若把集成電路制造比作“在納米尺度上蓋摩天大樓”，那用于校準(zhǔn)量檢測設(shè)備的晶圓級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)就是“標(biāo)尺”，是提升集成電路量檢測設(shè)備能力、構(gòu)建產(chǎn)業(yè)計量技術(shù)體系的重要基礎(chǔ)。傳統(tǒng)幾何量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)多基于小尺寸襯底加工，更適用于實驗室場景，難以滿足集成電路自動化檢測需求，因此產(chǎn)業(yè)亟需高質(zhì)量、自主可控的晶圓級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。

以同濟(jì)大學(xué)為主體，聯(lián)合張江實驗室籌建的國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計量測試中心（上海）（籌），在上海市市場監(jiān)督管理局指導(dǎo)推動下，于2024年起開展建設(shè)，是全國集成電路領(lǐng)域首批獲批籌建的國家產(chǎn)業(yè)計量測試中心之一。圍繞集成電路制造中的典型結(jié)構(gòu)與缺陷，重點開展了八英寸晶圓級100 nm一維光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、八英寸晶圓級200 nm二維柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、八英寸晶圓級100 nm凹陷缺陷標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制與應(yīng)用研究。

此次獲證的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可為CD-SEM、AFM、缺陷檢測設(shè)備等集成電路量檢測設(shè)備提供可靠的量值標(biāo)準(zhǔn)，有效支撐周期測量、角度測量及典型缺陷檢測等應(yīng)用需求。同時該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可以幫助我國量檢測設(shè)備企業(yè)與晶圓制造廠解決“測不準(zhǔn)、測不精、測不全”的產(chǎn)業(yè)難題，對提升我國集成電路微納檢測設(shè)備的計量測試能力、完善產(chǎn)業(yè)計量技術(shù)體系具有重要支撐意義。

上海持續(xù)深化標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)許可改革 服務(wù)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展

2023年，上海在全國率先獲得國家二級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級鑒定審批權(quán)，在浦東新區(qū)和奉賢區(qū)試點，頒出全國首張省級市場監(jiān)管部門審批的國家二級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級證書。2025年7月，市場監(jiān)管總局充分肯定上海改革成果，將二級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)改革推廣復(fù)制至上海全域以及內(nèi)蒙古、湖南和四川部分地區(qū)。在新修訂的《標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)管理辦法》中明確，二級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的審批權(quán)事權(quán)由國家市場監(jiān)管總局下放至省級市場監(jiān)管部門。

試點以來，上海頒發(fā)國家二級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書41張覆蓋標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)56項。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)上市進(jìn)度加快進(jìn)一步吸引產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)加入標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研發(fā)產(chǎn)業(yè)鏈，推動標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)組織方式不斷創(chuàng)新，尤其對上海集成電路、生物制造、生命健康、先進(jìn)材料等先導(dǎo)、重點產(chǎn)業(yè)有積極意義。比如滅活基孔肯雅病毒標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是國內(nèi)首個針對該病毒的二級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，為疫情防控提供重要支撐。

赭曲霉毒素純度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)填補(bǔ)了國內(nèi)行業(yè)空白，推進(jìn)了真菌毒素標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)國產(chǎn)化進(jìn)程。紫外、可見光區(qū)波長溶液標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)既可廣泛應(yīng)用于制藥、醫(yī)療、食品、環(huán)保等行業(yè)的檢測領(lǐng)域，也是國內(nèi)首個紫外可見全波長檢定/校準(zhǔn)溶液標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。中國倉鼠卵巢（CHO）細(xì)胞基因組DNA標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)有助于提高產(chǎn)業(yè)鏈中DNA殘留量檢測的準(zhǔn)確度，提升抗體藥物、重組蛋白藥物、疫苗等生物制品生產(chǎn)公司的產(chǎn)品質(zhì)量，有利于解決生物制品生物安全問題以及國際貿(mào)易中的技術(shù)壁壘問題。